8XB大平台芯片检测金相显微镜是专为IT行业大面积芯片,晶片的质量检测而设计开发制造的,配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为高级工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
性能特点:
1、超大型载物台,样品可以大范围的快慢速移动,扩大检测领域的使用范围;
2、明暗场、DIC等观察;
3、无限远光学系统;
4、非球面科勒照明系统;
技术参数:
1、大视野目镜:WF10(25mm)、WF10(20mm)带0.1mm十字分划板;
2、转换器:带DIC插孔的明暗场五孔转换器;
3、平场无限远明暗场物镜:5X/0.1B.D/W.D.29.4mm、10X/0.25B.D/W.D.16mm、20X/0.40B.D/W.D.10.6mm、40X/0.60B.D/W.D.5.4mm;
4、载物台:双层机械移动式 (尺寸:350mm*310mm,移动范围:250mm*250mm);
5、滤色片:插板式蓝、绿、中性;
6、调焦:粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构微动格值2um;
7、光源:落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节;
8、偏光装置:检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路;
9、检测工具:0.01mm测微尺;
标准配置:
1、主机:1台;
2、观察镜筒:1只;
3、WF10平场目镜:1对;
4、平场无限远明暗场物镜:5、10、20、40X各一只;
5、卤素灯泡:1只;
6、偏光装置:1套;
7、滤色片:1套;
8、检测工具:1片
9、合格证、保修卡、说明书:1套;
选购件:
长距无限远明暗场物镜:50、80、100X;
数码适配镜、数码相机;
目镜:15X、20X;
DIC:10、20、40、100X;
压平机;
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