3D X-ray显微镜检测产品生产的优良率 Tomography就像医学上的电脑断层一样，利用物体的线性移动，藉以把对焦面以外的部份模煳掉，以突显 X-ray显微镜检测所要观察的平面。在实际的应用上，我们把package转动，每转动一个角度，就侦测 X-ray显微镜检测光源，如此转动一个大幅度的角度之后，就已经收集到很多的影像了，之后再针对这些影像做运算处理，便能得到清晰的影像封装是否有问题， X-ray显微镜检测在测试确认接脚有高阻值、大电流或可靠性问题时，并衡量一些其他的情况后，就有可能利用此仪器来检视，检视bonding wire是否断裂或桥接，solder bump是否完全黏着在pad或是否有void产生，die与package substrate是否黏着完好或黑胶是否有过大的空洞等等。