首先,激光扫描显微镜与扫描电子显微镜相似; 其次,激光扫描显微镜是用激光束工作,而扫描电子显微镜是采用电子束工作的;激光扫描显微镜还采用了自动聚焦装置。 激光扫描显微镜主要工作参数工作距离:1~45mm;测量范围:0. 005~lmm;最高垂直分辨率:lnm,可用于样品的微观形貌观察,表面结构和粗糙度测量、振动和形变的观察.
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