精密度 仪器量测零件之一连串读值度不会完全相同，而是散佈在平均值附近的数值。 仪器本身的读值再现性能力称为精密度(precision)(或简称精度)。 误差来源 操作者本身差异 操作者间差异 材料差异 试验设备之差异 试验程序差异 实验室间之差异 新技术原理 早期量测长度之方法皆应用机械原理，为能量测更多之特殊工具， 例如内径，深度等，也就发展出更多之特殊工具，例如平面板，比例尺。 后来继续增高应用机械，电子，气压光学及数值控制等原理而可得到高精确度， 以达到量测上之需求。例如，激光测距仪，座标量测系统(CMM)又称为三维测量机具(3DMM)。