光学显微镜原理之可见光的波长约为400~700nm
可见光的波长约为400~700 nm
光学微影术主要包括:G-line(436nm)、I-line (365nm)、KrF(248nm/DUV)、ArF(193nm/VUV) 非光学微影术主要包括:EBL、XRL(7∼13 nm)、IPL、EUVL(13nm)
光学微影术虽然能藉由波长较短的光源及其他种种修正技巧,将解析度往下推进,但是进步的空间终究有限,
因此发展出许多不同的制程技术,希望可以继续缩小线宽,非光学微影术使用的波 长远比一般非光学微影术制程所使用的光源波长更小,
因此能提供更高的解析度。 除了波段不同以外,以更精确的语言来说,应该可以分为"传统光学微影术"和"非传统光学微影术",借以区别两个技术代的不同
|