纳米解析度的穿透式电子显微镜-测量仪器 纳米级空间解析度的穿透式电子显微术(transmission electron microscopyTEM)与扫描探针显微术(scanning probe microscopy，SPM) 是纳米量测技术的两大轴心技术，前者源自于电子光学理论基础； 后者则表面科学的极致表现。扫描探针显微镜技术现已成为辅助纳米科技发展的关键检测技术， 其特色为讯号灵敏度极高，并可提供高空间解析度的试片表面讯号。 自扫描穿遂显微镜(scanning tunneling microscope, STM)问世并用于观测矽面的表面形貌影像，短短二十多年之间， 扫描探针显微镜技术已被拓展并广泛运用于量测分析电、光、热、力、生、磁等各方面的表面微观物理性质， 甚至亦可用于纳米加工与制造的领域， 自扫描穿遂显微镜(scanning tunneling microscope，STM)问世以来，短短二十多年之间， 结合各种不同性质的纳米探针，已发展出许多不同用途的扫描探针显微镜技术， 并成功应用于电、光、力、磁等各种微观物理性质的量测分析上，如今，扫描探针显微镜技术已成为世界上发展纳米量测技术的趋势主流。