材料具有很多的优异特性,如铁电性、压电性、焦电性, 因此被广泛地应用在微电子元件中,其具有自发极化性且极化方向能藉由施加外加电场反转,所以可以拿来当作记忆元件,也因此更使得铁电材料被广泛地研究; 由于铁电薄膜的巨观性质与其微观的铁电区有关, 所以量测薄膜的铁电区结构与观测其极化机制就显得十分的重要; 因此需要具纳米尺度的检测技术,其中以扫描探针显微术 (scanning probe microscopy)为适合进行作研究的工具之一,