在诸多扫描探针显影技术应用中，在铁电材料的侦测上又以压电力显微镜(piezoresponse forcemicroscope)最具代表性， 其透过铁电材料的逆压电效应来获得铁电区呈像，且具有极高的垂直及侧向解析度并对表面形貌的作用有较低的灵敏度， 除此之外，也能够在铁电区中作电压写入使材料内部之电极化反转，且能观察电区结构随着时间及热作动态的演进， 并能作微区压电响应曲线（piezoresponse curve）之定量量测，进而获得局部区域之压电性质。