工具显微镜自动对焦的原理 自动对焦的原理 系统可进行XY水平量测。但是仅凭CCD摄像机影像,系统 无法进行高度量测。系统通常都具备自动对焦机制,用于高度 测量。以下向您介绍使用普通影像的自动对焦机制,虽然有些 系统可能使用激光自动对焦。 系统沿着Z轴上下移动CCD,进行影像分析。在分析影像对比时,清晰 的影像表示对比值较大,模糊的影像表示对比值较小。 因此影像对比度最高时的高度即为焦距高度。