光学精微模具的制造过程检测光学测量显微镜 从"制造技术"观点看，不同的光学模具，有不同的制造技术，故若能将不同的制造技术整合于同一部工具 机系统上，则可省时、省工及省成本。 所以开发"高刚性"、"微型化"与"多功化"的高精度工具机有其必要，以达到多样化光学精微模具制造之目的。 适用于光学精微模具开发的高刚性精微工具机之设计， 第工一阶段为工具机建构与验证，第二阶段对非球面阵列透镜模仁与光栅绕射元件进行加工测试， 期以低成本方式，开发一部适用于光学精微模具制造的高刚性微型工具机， 并建构光学精微模具之精微制造技术于此工具机系统上，包括高精密车削、高精密铣削与高精密飞刀切削 等技术，探求其可行性。为获致高稳定加工目的，在开发的工具机系统上，透由工具机系统内部， 撷取各轴动态讯号，以便获得工具机之动态振动资料，并于加工期间调整主轴转速、工件进给速率与进深等参数，以便抑制加工时之振动发生，提高光学模具精度。 在"光学模具材料"方面，本研究亦利用无电镀(chemical plating)沉积技术， 制作镍磷合金(Nickel-phosphorus alloy)，以获致高硬度、高抗腐蚀性与高光泽度的光学模具