扫瞄电子显微镜材料表面观察分析技术简介 扫瞄探针显微镜分析技术可说是近几年来发展极为快速的一项表面分析技术， 除了有操作简单与维护容易的特点外，最主要的优点 在于能直接且快速地提供关于材料表面特性的资讯，如硬度、平坦 度、电磁场、漏电流、光电性质及压电特性等高解析度讯号。随着奈 米科技时代的来临，许多表面分析需求已进入奈米尺度，扫瞄探针显 微镜自然成为奈米科技时代不可或缺的表面分析工具之一，其各项应 用之中，以应用于材料表面形貌观察及物性量测的原子力显微镜最为人所知。