提高解析度轻敲式扫描电子显微镜的原理 轻敲式(tapping mode) 轻敲式原子力显微镜是介于接触式和非接触式之间的一种模式。相对于非接触式, 轻敲式则是加大振幅与缩短针尖与样品之间的距离,使振盪中的悬臂樑更接近样品,而针尖与样品之间的距离已缩 小到使得悬臂樑振盪振幅的最低点能够"轻敲"样品的表面。此法不 仅可以提高解析度,并减少破坏样品的机率,所以此模式亦是目前最常使用的方法