影像测量仪工具型显微镜-轮廓类精密机械零件尺寸测量 影像测量仪 是利用测头接触工件表面，沿X、Y、Z三轴向移动，由直角标系统可以得知测头中心点之位置， 因此可以得知工件的点座若将这此点影像送至数据处理机，由软体程式的计算， 可以得知工件外型的细部尺寸。 以影像测量仪测量工件，使测量检验工件进入自动化，节省测量时间，提高测量效率与测量精度。 不仅如此影像测量仪扮演着重要的角色，它是精密测量中，最快速与準确的自动化定量具。 结果显示表面粗糙度越接近镜面，高斯分布曲线将会越陡峭，表面粗糙度越粗糙时高斯分布将会越平坦， 镜面反射能量随粗糙度的增加而减少，减少的镜面反射能量则成为绕射光与散射光源。 由此关系进而推断出表面粗糙度，再以最大灰阶法及平均灰阶法推断出在试片表面粗糙度于波长的1/10范围内粗糙度， 并获得良好的关系性建构之非接触式表面粗糙度仪，得以评估超精密加工件之表面粗糙度。