表面粗糙度测量仪器研发,提升表面粗糙度分析与检测技术能力, 以及相关应用技术之推展。 先进的表面粗糙度分析及量测技术,并确认与推展符合未来市场需求之表面粗糙度标准, 相关应用开发 微、纳米表面粗糙度 粗糙度量测设备与方法 表面粗糙度校正与追溯 原子力显微术、探针扫描式显微术 磨润学与磨耗 接触式或光学式表面粗度量测仪器 半导体线宽与边缘粗糙度 表面粗糙度之其他应用