扫描电子显微镜的原理试样制程简介 扫描式电子显微镜 (ScanningElectronMicroscopy,SEM) 扫描式电子显微镜(SEM) 观察粉末在球磨时间下,其形态与颗粒大小的变化趋势及观察热压 后块材的表面型态。 原理为藉由电子束经电压加速后,经电磁透镜的电子光学系统使电子束聚集至试片表面 ,产生出二次电子等讯号,其讯号由侦测器侦测后,以讯号放大处理传送至CRT, 试片表面之形貌等就由此同步成像方式呈现;试片的形貌较受到导电影响,若导电 差则需要镀碳或镀金