电子光束扫描显微镜放大倍率大测量范围小 测试不同钢珠表面粗糙度与硬度的钢珠，经过连续加压且高速下运转ㄧ特定程度后， 钢珠表面因为互相摩擦与温度产生金属疲劳而有碎裂或是剥落情形， 透过电子光束扫描显微镜，取得钢珠表面影像，然后使用3D量测分析以及纵断剖面图学处理， 即可得到钢珠表面的高度，利用高度值判断瑕疵的严重性。但由于此方法取得的影像， 其放大倍率过高，因此观测范围变很小，只能检测钢珠表面的局部范围，因此不适宜进行大量的自动化检测。