试件表面有镀层样品适合使用哪种显微镜测量 如果试件表面全部都有镀层,而镀层透明时仍可用干涉显微镜进行测量。这时在视场里可以看到二组干涉条纹:一组由镀层表面产生;一组由衬底表面产生。由于表面反射系数差异,二组条纹衬度也有差别,因此很容易测量孔径光阑的选择 孔径光阑大小不但控制了视场亮度,而且控制了物镜的数值孔径。光栏大,物镜孔径也大,鉴别率也高。但孔径大时,对仪器各部分要求也高,所以大孔径时一般干涉条纹质量没有小孔径时好。故孔径光阑不一定是开得愈大愈好,至少不能大于物镜的孔径。即拿掉目镜,用眼睛直接在目镜管里观察时,孔径光阑不能大于物镜框的直径,否则孔径光阑发出的光线不能进入物镜,反而造成有害的杂乱光线。其次对于测量▽10,▽11,▽12表面,孔径光阑应适当缩小,以保证测量深度范围和提高条纹的对比。即使测量工件光洁度为▽13,▽14,为了提高条纹的对比,也可以稍稍缩小孔径光阑。用目视估计方法测量表面光洁度 用干涉显微镜测量光洁度,为了方便起见,往往采用目视方法。估计干涉条纹的弯曲量为干涉条纹宽度的几倍或几分之一,
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