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表面粗糙度的测量仪器中,触针测量应用得最多表面粗糙度的测量 在一般表面粗糙度测量中，触针法应用最多，由于用针尖半径非常小韵触针接触加工巾的工件表面，所以很难获得高精度测量。目前，在加工中测量工件表面粗糙度；还没有最有效的测量方法。当工件材质与加工方法一定时，也可以用从工件表面反射来的反射光进行测量。 在表面粗糙度的光学测量中，除反射光分布法外，还有光波干涉法和光切法。光波干涉法是以光波波长为测量基准，这种方法灵敏度嵩狙如果表面不是经研磨的光洁表面时，很难用这种方法测量。特别是由于在加工中工件韵振动，大大地妨碍了这种方法的应用。光切法是利用前面讲的激光光点或激光射线对工件扫描，测出表面粗糙度。 很早以前就研究了加工表面的粗糙度与工件表面漫反射光的关系。因为这种测量方法是非接触测量，测量方法简单易行 但是，漫反射光分布测量法是测量表面的平均反射光，如果认为表面粗糖度是统计值，利用这种方法是可以的，但是要了解粗糙度曲线的全面形状，此种方法就有其不足之处 加工表面漫反射光的分布，不但受表面凹凸高度的影响，也受凹凸形状、表面纹理微细裂纹等影响。由于加工零件材质不同，反射光的波长和强度也发生变化：因此利用漫反射光分布测量表面粗糙度时，一般需事先确定加工材料和加工方法。光点位移测量法与前面所叙述的激光光点测量法相似。光点测量位置是在光轴方向上测出工件表面反射来的反射象点的位置。用光点测量表面粗糙度时，是在垂直于光轴的直线上(在荧光屏上)测量表面粗糙度形成的反射象点的位置。为了成象，必须机械地扫描被测表面，因此也可将这种装置看作是一种扫描型的激光光电显微镜。
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