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测量具几何形状零件,机械化和自动化检验显微镜专用测量器具是用于测量具有一定几何形状零件的特殊元素，或用予测量与零件几何形状无关的特殊参数的测量器具。 属于测量具有一定几何形状零件的专用测量器具有量规、测角仪器、螺纹量仪，齿轮量仪、机械化和自动化检验仪器。 属于测量零件特殊参数值的专用测量器具有表面粗糙度量仪及形状和表面位置偏差量仪。坐标测量机的测量原理实质上都是一样的。测量时，零件安装在仪器的工作台上，即可测量零件的全部参数，不偏重新安装，当然，零件在工作台上安装表面的位置偏差除外。总的说来，坐标测量机可以测量平行六面体零件的五个面，而不必重新安装零件。测量时，传感器沿三个坐标轴方向移动，而零件不动或者零件沿x和y轴移动，而传感器仅沿z轴移动；或者零件仅沿x轴移动，而传感器沿y和z轴移动。 在作这类测量时，传感器或者装着零件的工作台在移动过程中，测量系统就确定传感器和零件的相对位移量，向记录装置或计算装置中输入信号，表征传感器测量头与被测零件表面接触瞬间以前的三个坐标方向的位移量。在某些测量机中，传感器给出的信号不仅表示读数测量系统的位移量，而且还表示直接由传感器来的补充数据，提供测量头同时在三个坐标方向偏移的信息，以减小由测量系统惯性所引起的误差。 坐标测量机的规格被测零件的最大尺寸，有的到400-500mm，有的到8一lOm，还有一些通用测量机可测尺寸到16m的零件。用得最广泛的是可测最大尺寸为500～1000mm的零件的测量机，因为这类零件形状复杂，在机器制造中应用最多。 测量机坐标导轨在很大程度上影响测量的精度。大多数坐标测量机用空气静压导轨或滚珠滚柱导轨。如用空气静压导轨，其底座常用岩石制成。岩石与金属相比，在承受力和热变形方面都有很大的优点。
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