精密加工表面质量检测表面微观形貌轮廓仪 原子力显微镜测量的不足是因为探针悬臂测量系统实际上是偏载的、柔性的，其探针与表面之间的接触力在纳牛量级因而宏观上认为是准接触的测量方式，测量范围往往小于传统表面粗糙度测量的取样长度和评定长度。原子力显微镜的优势是纵向与横向测量分辨率在纳米甚至亚纳米量级，可以更精确地在三维方向上得到表面微观形貌和表面特征。为此，在国际国内广泛采用原子力显微镜进行超精密加工表面质量检测的新形式下，必须建立相应测量理论体系、完善纳米级表面质量评价方法。本篇在对各类超精密零件表面测量大量实验研究基础上，对纳米表面各类测量方法特别是原子力显微镜测量方法进行了分析和讨论，旨在为今后纳米表面质量测量理论体系的建立提供有用的基础研究素材。 了解和掌握原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)及其测量理论方法，通过分析触针式轮廓仪、干涉显微镜和原子力显微镜三种常用于检测超光滑表面微观形貌的测量仪器，剖析仪器的测量原理、仪器性能、形成的误差、空间分辨率及适用范围等，并利用这三种仪器进行不同材料、不同加工方法的超精密加工样件的测量，得到样件的表面微观形貌图及表面粗糙度参数值。通过对测量结果的分析，得出各类型仪器的适用规律，通过分析说明AFM测量方法更能反映样件表面纳米精度三维形貌。
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