扫描式电子显微镜的主要用来做什么的？ 扫描式电子显微镜（Scanning Electron Microscope, SEM）主要利用电子光学系统将电子光束产生的电子聚焦成一微小的电子束至样品表面， 并利用扫描线圈使其在样品表面上扫描。电子束与样品间的交互作用会激发出各种讯号， 如: 二次电子、背向散射电子及特性X光等，SEM主要就是收集二次电子的讯号来成像。由于SEM其解析度高及景深大，放大倍率可达到一万倍以上， 故主要是用来观察样品表面及剖面微结构， 如在设备上加装能量分散X光谱仪(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)时，则可对样品表面同时进行微区之材料分析， 包括定性、半定量之元素分析以及特定区域之point、line scan、mapping分析。 可提供高解析之表面结构分析影像外，亦可进行材料成份之分析。 应用 针对各种材料表面微结构观察。 藉由SEM本身之量测功能，可提供精準之尺寸量测，如膜厚等。