共轭焦激光扫瞄显微镜量测
共轭焦激光扫瞄显微镜是利用激光光源,在光学基础上采用光源焦平面与观察者焦平面共轭成相的原理,
再利用电脑对所扫描分析的对象进行数位图像处理的观察和分析,具有较高的水平解析度,
并可利用电脑分析重建三维影像,但价格相当昂贵。镍模仁一方面表面反射特性佳,且为凸特征,
以共轭焦激光扫瞄显微镜扫瞄镍量测效果还不错。
但在量测下凹V沟如矽基蚀刻时,在V沟底部的扫瞄则出现明显杂讯与失真的现象。
而于透光物件如PMMA导光板量测时,扫瞄轨迹的杂讯非常大,且LGP为下凹特征,
在V形下凹的部分几乎无法辨识,以致V沟深度与角度无法准确量测
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