常用显微术比较
光学显微术( OM )
扫描电子显微术( SEM )
穿透电子显微术( TEM )
扫描探针显微术( SPM )
横向解析度
300 nm
1 nm
原子级
纵向解析度
20 nm
10 nm
无
成像范围
1mm
0.1mm
成像环境
无限制
真空
样品准备
简单
镀导电膜
手续繁复
成份分析
有