光学仪器加工技术-几何形状计量工具显微镜

应力抛光技术
应力抛光技术是加工复杂非球面形状的一种高效技术。和大部
分表面加工技术一样．这个技术也是一个迭代过程，需要经过多次
修磨和测量的循环。不过，为了使得收敛速率最大化，在应力抛光
技术中还需要执行自适应控制模拟。

应力抛光中的自适应控制模拟
为了说明自适应控制模拟在应力抛光中的作用，有必要首先阐
明这个技术的完整过程。众所周知，把一个初始弯曲的表面加工到
一个平面，相比把一个平面或者球面抛光到非球面，所需成本会更
小，花费时间也更少。应力抛光技术就是利用了这个特点。这个过
程首先从镜坯开始，把镜坯加工成平板或者是最终理想几何表面的
最佳球面形状。接着对要加工镜坯施加初始作动力，使它产生一个
和实现理想面形所需的反向的变化量。然后执行抛光操作，把光学
表面恢复到初始镜坯的几何形状。在抛光过程中，要进行间谐性的
测量，并结合作动器载荷、作动器影响函数以及解析的反馈量，预
测工作状态下的无应力镜坯的理想面形。其中，预测解析的反馈量
是为了去除测试误差的影响。根据这个信息，在下一轮抛光之前调
整镜坯的作动力。持续上述过程直到面形指标满足要求。最终，在
去除作动载荷后，就可以结合解析的反馈量，直接得到无应力镜坯
的测量结果。如果需要，可以重新施加新的作动载荷继续进行抛光
加工。
每次调整作动器载荷都需要进行一次自适应控制模拟。通过模
拟可以得到作动载荷，使它可以最佳修正施加了理想反馈后的面形
测量结果。作动器调整所需的面形测量频率取决于和表面加工细节
相关的许多因素，这些不在本书讨沦范围。