穿透式电子显微镜(TEM:Transmission Electron Microscopy) 使用钨丝来发射电子束(热游离),当电子束穿透物体时,电子受到物体原子排列的影响而散射,最后投影在投影银幕上,
我们可以由电子束在投影银幕上的二维投影图,反过来推算物体原子的三维结构与结晶情形。使用穿透式电子显微镜必须让电子束可以“穿透”试片,
因此在观察之前必须先将试片加工研磨成小于200nm(纳米)的厚度才行,如何将试片研磨到这么薄又不破坏物体原有的结构是非常困难的事,
将电子束在投影银幕上的二维投影图送入电子束侦测器,就可以得到如图4-55(b)所示的穿透式电子显微镜(TEM)照片,穿透式电子显微镜(TEM)的解析度很高,可以用来观察大约10nm(纳米)的结构,而且可以分辨不同材料组成的平面物体,也可以观察物体的横截面。
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